檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "Sliding Mode Control".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="奈米定位"
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近年來由於半導體加工產業及生化科技的迅速發展,次微米生產設備成為目前市場之主流。隨著各種產品尺寸微小化,加工精度的要求也跟著提昇至數十個奈米的精度等級。對超精密加工及相關的精密量測與微元件檢測技術而…